更新時間:2026-06-16
點擊次數:44
在激光器設計里,窄線寬和快速調諧常常是一對矛盾。
傳統外腔二極管激光器(ECDL)能把線寬壓到kHz甚至百Hz量級,靠的是機械轉動光柵或移動腔鏡來調諧頻率。機械運動的慣性決定了調諧速度的上限——再快也快不過幾十kHz。另一條路是電流調制的DFB激光器,調諧可以很快,但電流變化會同時改變載流子濃度,引入額外的頻率啁啾和線寬展寬。
Deeplight的DLT-FT-1550走了一條不同的技術路線:把壓電致動器直接做到光子芯片上。北京泰坤工業設備有限公司將該產品引入國內市場,以下圍繞這一技術點展開。

壓電材料在外加電壓下會產生形變,這個物理效應很早就被用于精密位移控制。Deeplight的不同之處在于:他們把壓電薄膜材料單片集成到了氮化硅(Si?N?)光子芯片上。氮化硅波導在近紅外波段損耗極低,適合構建高Q值諧振腔,這是窄線寬的物理基礎。壓電致動器就做在諧振腔旁邊,通電后產生應變,直接改變光程,從而調諧激光頻率。
關鍵是“單片集成"這四個字。不是把分離的壓電元件粘上去,而是在芯片制造流程中就把壓電材料沉積、圖形化、連接到光波導結構上。工藝路線基于成熟的MEMS制造技術,這意味著可重復性和良率有保障。

激光頻率調諧常見的手段有三種:熱調諧、載流子注入調諧、機械調諧。壓電調諧跟它們比有什么優勢?
跟熱調諧比:熱調諧靠改變溫度來移動折射率,響應時間在毫秒到秒級。壓電致動的響應速度比熱調諧快兩個數量級以上。DLT-FT-1550的致動帶寬大于2 MHz,從直流開始保持平坦響應。這意味著你給它一個高速變化的電壓信號,激光頻率能線性跟隨,不會在幾十kHz處就開始衰減。
跟載流子注入調諧比:電流調諧雖然快,但載流子濃度的變化會改變增益介質的折射率和吸收特性,引入額外的頻率啁啾和強度噪聲。壓電調諧是純機械式的應變,不改變載流子狀態,調諧過程更“干凈"——不引入額外損耗,也不產生寄生調幅。
跟機械調諧比:傳統ECDL靠電機或壓電堆棧推動光柵,宏觀機械運動有慣性、有諧振、有回差。DLT-FT-1550的壓電致動器是微米尺度的薄膜結構,質量極小,沒有宏觀機械滯后。
壓電致動的線性度直接體現在一個關鍵指標上:掃頻非線性。在FMCW激光雷達中,激光頻率隨時間線性變化,如果掃頻不是直線,測距分辨率就會下降。傳統做法是用硬件參考干涉儀或軟件算法來做線性化校正。
DLT-FT-1550在10–100 kHz掃頻速率下,均方根非線性低于0.5%,典型值可到0.1%。Deeplight稱其為“無線性化FMCW操作"——對于工程應用來說,這意味著可以省掉一套參考干涉儀,或者減少校準工作量。
壓電調諧速度快,但會不會把窄線寬搞丟了?數據表明沒有。本征線寬(洛倫茲型)典型值低于10 Hz,上限100 Hz。氮化硅高Q值諧振腔負責守住窄線寬,壓電致動器負責快速掃頻——各司其職。在緊湊的蝶形封裝內同時實現大于1 GHz的調諧范圍和亞百Hz的線寬,這在傳統架構里并不容易做到。
壓電材料上光子芯片,這件事的意義不在于“用了壓電",而在于把調諧執行器從激光器外部搬到了芯片內部,而且是用半導體工藝批量制造的。對于相干傳感、FMCW激光雷達這類既需要窄線寬又需要快速掃頻的應用來說,這條技術路線提供了一個不同于傳統外腔或電流調制的選項。
更多產品信息可聯系北京泰坤工業設備有限公司獲取詳細技術資料。